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半导體(tǐ)制造设备用(yòng)零部件
陶瓷广泛应用(yòng)于線(xiàn)宽的精(jīng)细化和多(duō)层化在不断前进中(zhōng)的半导體(tǐ)制造设备中(zhōng)。轻质(zhì)、高刚性的陶瓷越来越多(duō)地应用(yòng)于光刻设备，陶瓷的耐等离子體(tǐ)性、低颗粒含量、耐热性和低介電(diàn)损耗等优点，也越来越多(duō)地应用(yòng)于蚀刻和成膜设备。晶圆传送臂也采用(yòng)精(jīng)度高、机械性能(néng)优异的陶瓷。另外，蓝宝石还用(yòng)于需要透光性的窗口片、晶圆承载板、晶圆接触升降销、等离子體(tǐ)导入管等。
产(chǎn)品实例
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蓝宝石衬底我们可(kě)以处理(lǐ)更薄和更大的基板，以及使用(yòng)激光可(kě)以对应复杂、精(jīng)细和高精(jīng)度的加工(gōng)。- 耐热性
- 耐等离子性
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蓝宝石管这种蓝宝石管适用(yòng)于需要耐腐蚀性和透光性的场合。- 光學(xué)透明度
- 耐等离子性
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蓝宝石棒蓝宝石棒具(jù)有(yǒu)高强度、高耐热性、高耐腐蚀性。兼容抛光加工(gōng)/台阶加工(gōng)/金属配件组装(zhuāng)。- 高纯度
- 耐热性
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防静電(diàn)镊子防静電(diàn)镊子专為(wèi)处理(lǐ)对静電(diàn)损坏敏感的元件的各种操作(zuò)人员而开发。- 半导體(tǐ)
- 化學(xué)稳定性
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散热结构陶瓷基板由于其高刚性和耐磨性，即使在長(cháng)期使用(yòng)后也能(néng)保持良好的表面状况。- 形状自由度
- 高温耐久性
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低热膨胀陶瓷镜高刚性使其更薄、更轻。- 高刚度
- 低热膨胀
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蓝宝石灯管该产(chǎn)品利用(yòng)了蓝宝石的优异特性（透光性+耐热性+绝缘性）。- 耐热性
- 绝缘性
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搬运手臂可(kě)制造真空吸附式及各种涂层。- 高温耐久性
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半导體(tǐ)制造设备用(yòng)陶瓷加热器高纯度、优异的耐等离子性和热均匀性。- 高导热率
- 耐等离子性
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静電(diàn)吸盘它纯度高，具(jù)有(yǒu)出色的耐等离子體(tǐ)性和附着/分(fēn)离响应，并且兼容较宽的温度范围。- 耐等离子性
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真空吸盘、载物(wù)台一體(tǐ)镜、载物(wù)台零件搬运部件输送部件纯度高，耐腐蚀性优异。根据使用(yòng)条件，可(kě)以形成各种表面形状。- 高刚度
- 高精(jīng)准度
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圆顶和腔其高纯度和出色的耐等离子性有(yǒu)助于延長(cháng)部件的使用(yòng)寿命。- 電(diàn)气均匀性
- 耐等离子性
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LCD制造设备用(yòng)零部件支持更高分(fēn)辨率液晶面板的高刚性陶瓷组件- 高刚度
- 低反射
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抛光布修整盘具(jù)有(yǒu)优良的耐磨性，可(kě)根据条件加工(gōng)成微小(xiǎo)的突起。- 耐久性
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耐等离子材料其高纯度和出色的耐等离子性有(yǒu)助于延長(cháng)部件的使用(yòng)寿命。- 耐等离子性
- 低介電(diàn)损耗
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碳化硅抛光盘追求更高导热率和更低热膨胀的抛光盘。- 高杨氏模量
- 低热膨胀
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抛光盘由于其高刚性和耐磨性，即使在長(cháng)期使用(yòng)后也能(néng)保持良好的表面状况。- 高硬度
- 耐磨性
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蓝宝石搬运手臂由于其耐等离子性和耐热性，被用(yòng)于各种半导體(tǐ)制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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腔體(tǐ)蓝宝石视窗由于其耐等离子性和耐热性，被用(yòng)于各种半导體(tǐ)制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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蓝宝石载板由于其耐等离子性和耐热性，被用(yòng)于各种半导體(tǐ)制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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蓝宝石晶圆舟由于其耐等离子性和耐热性，被用(yòng)于各种半导體(tǐ)制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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蓝宝石升降销由于其耐等离子性和耐热性，被用(yòng)于各种半导體(tǐ)制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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用(yòng)于等离子體(tǐ)产(chǎn)生和引入的蓝宝石管由于其耐等离子性和耐热性，被用(yòng)于各种半导體(tǐ)制造设备部件。- 耐热性
- 耐等离子性
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气密端子（多(duō)针端子）我们提供各种采用(yòng)陶瓷金属连接技(jì )术的标准多(duō)针连接器。- 气密性
- 连接技(jì )术
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气密端子（同轴端子）我们提供各种采用(yòng)陶瓷金属结合技(jì )术的标准同轴连接器。- 气密性
- 连接技(jì )术
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绝缘接头（绝缘法兰）绝缘法兰支撑LHD大型螺旋装(zhuāng)置进行“聚变实验”。- 气密性
- 连接技(jì )术
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電(diàn)流引入端子（馈通）我们提供在陶瓷金属结合部件中(zhōng)最广泛使用(yòng)的電(diàn)流引入端子。- 气密性
- 连接技(jì )术
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真空密封金属化密封蓝宝石窗口我们提供非常适合超高真空的蓝宝石窗口片。- 气密性
- 连接技(jì )术
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D-sub陶瓷真空密封端子（钎焊连接产(chǎn)品）由陶瓷制成的 D-sub 真空密封端子，可(kě)用(yòng)于超高真空应用(yòng)- 绝缘性
- 气密性
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特殊钎焊接头（铝金属配件/非磁性金属）可(kě)钎焊至铝配件和非磁性金属- 高导热率
- 绝缘性
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与液氢兼容的钎焊结合产(chǎn)品可(kě)在-253℃液氢环境下使用(yòng)的钎焊接头- 绝缘性
- 气密性
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陶瓷绝缘管（金属化管）我们稳定供应具(jù)有(yǒu)高绝缘强度的金属化陶瓷部件。- 绝缘性
- 气密性
