陶瓷材料
氧化钇 Y2O3
一种在等离子體(tǐ)环境下具(jù)有(yǒu)优异耐腐蚀性的材料
氧化钇是一种具(jù)有(yǒu)优异耐等离子體(tǐ)性的材料。它可(kě)以有(yǒu)效减少半导體(tǐ)制造设备等使用(yòng)等离子體(tǐ)的制造过程中(zhōng)零件所需的颗粒和杂质(zhì)污染。
- 重要特征：
- 耐等离子性
- 耐腐蚀性能(néng)
特性
这些值是基于试件测量的参考值。特性值可(kě)能(néng)因产(chǎn)品形状和使用(yòng)条件而异。
(注1)表观密度和堆积密度均為(wèi)所列值。然而，对于多(duō)孔材料，它是堆积密度值。
(注1)表观密度和堆积密度均為(wèi)所列值。然而，对于多(duō)孔材料，它是堆积密度值。
产(chǎn)品实例
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耐等离子材料其高纯度和出色的耐等离子性有(yǒu)助于延長(cháng)部件的使用(yòng)寿命。- 耐等离子性
- 低介電(diàn)损耗
