陶瓷材料
浸硅反应烧结碳化硅 SiSiC
高比刚度材料，适合制造大型复杂形状制品和空心體(tǐ)
这是一种基于SiC的浸硅复合材料。用(yòng)硅浸渍可(kě)减少孔隙并抑制排气。它是一种具(jù)有(yǒu)与SiC相似特性的高比刚度材料，并且電(diàn)阻比SiC低，因此可(kě)以消除部件的静電(diàn)。特殊的制造方法和反应烧结可(kě)以轻松制造大型、复杂形状的制品和空心體(tǐ)，广泛应用(yòng)于半导體(tǐ)制造设备零件。
- 重要特征：
- 刚度
- 大型复杂形状
- 空心體(tǐ)
特征
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高耐腐蚀性即使在高工(gōng)作(zuò)温度下也具(jù)有(yǒu)高耐腐蚀性。
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优异的高温强度这是一种在高温下强度损失很(hěn)小(xiǎo)的材料。
