陶瓷材料
氮化铝 AlN
具(jù)有(yǒu)高导热性和電(diàn)绝缘性能(néng)的材料
氮化铝具(jù)有(yǒu)高导热性和電(diàn)绝缘性，用(yòng)于散热和均热部件，包括半导體(tǐ)制造设备部件。
- 重要特征：
- 导热性
- 耐磨性
特性
这些值是基于试件测量的参考值。特性值可(kě)能(néng)因产(chǎn)品形状和使用(yòng)条件而异。
(注1)表观密度和堆积密度均為(wèi)所列值。然而，对于多(duō)孔材料，它是堆积密度值。
(注1)表观密度和堆积密度均為(wèi)所列值。然而，对于多(duō)孔材料，它是堆积密度值。
产(chǎn)品实例
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半导體(tǐ)制造设备用(yòng)陶瓷加热器高纯度、优异的耐等离子性和热均匀性。- 高导热率
- 耐等离子性
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静電(diàn)吸盘它纯度高，具(jù)有(yǒu)出色的耐等离子體(tǐ)性和附着/分(fēn)离响应，并且兼容较宽的温度范围。- 耐等离子性
