薄膜MIC基板

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電(diàn)阻材料	Ta2N
方阻（Ω/SQ）	10 to 100
阻值温度系数（ppm/K）-25℃到85℃	-100+/-20
无公(gōng)差修整	+/-20%
有(yǒu)公(gōng)差修整	+/-3%
長(cháng)期可(kě)靠性高温放置（125℃，1000小(xiǎo)时）后的阻值变化	0.4% max.